| 主要功能参数 | JY-CZ1600 | |
| CCD | 相素 | 12,000,000(COLOUR) |
| 个数 | 单/双CCD | |
| 晶料相关 | 装料量 | >800KG(32") |
| 通用直径 | 8~12"/或非标 | |
| 坩埚直径 | 36"/40" | |
| 晶棒最长尺寸 | >5000mm | |
| 机器外型 | 中炉内径 | 1600mm |
| 机器安装面积 | 2380x2160 | |
| 机器高度 | 13200 | |
| 炉体重量 | 8000KG | |
| 电源系统 | 输入电源 | 三相 AC380V±5% MAX:350KVA |
| 电源频率 | 50Hz/60Hz | |
| 主加热器功率 | MAX:150KW DC60V 3000A |
|
| 副电源装置 | 120KW/60/2000A | |
| IGBT | 全水冷数字CPU控制 | |
| 水冷热屏升降 | 有 | |
| 籽晶升降 | 籽晶行程 | 8500mm |
| 籽晶升速 | 低速0-10mm/min 高速1000mm/min |
|
| 籽晶承重 | >1300KG | |
| 籽晶转速 | 0-40 rpm | |
| 籽晶绳材质 | 钨质 直径 6mm | |
| 坩埚升降 | 坩埚行程 | 550mm |
| 坩埚升速 | 低速0-0.5mm/min 高速200mm/min |
|
| 坩埚转速 | 0-20 rpm | |
| 最大载重 | >1500KG | |
| 其他 | 籽晶晃动范围 | 籽晶转速<12rpm时 晃动<2mm |
| 炉体水平度 | 水平<0.06mm/m | |
| 极限真空 | <3mT | |
| 真空漏气率 | <0.5mT/Min | |
| 控制方式 | PLC | 三菱R系列PLC |
| PC | 高性能PC(触摸屏) | |
| 自动/手动 | 全自动 | |
| 称重系统 | 显示精度 | 0.1KG |
| 液面测温 | 控制范围 | 无 |
| 相素 | 12,000,000(COLOUR) |
| 个数 | 单/双CCD |
| 装料量 | >800KG(32") |
| 通用直径 | 8~12"/或非标 |
| 坩埚直径 | 36"/40" |
| 晶棒最长尺寸 | >5000mm |
| 中炉内径 | 1600mm |
| 机器安装面积 | 2380x2160 |
| 机器高度 | 13200mm |
| 炉体重量 | 8000KG |
| 输入电源 | >三相 AC380V±5% MAX:350KVA |
| 电源频率 | 50Hz/60Hz |
| 主加热器功率 | MAX:150KW DC60V 3000A |
| 副电源装置 | 120KW/60/2000A |
| IGBT | 全水冷数字CPU控制 |
| 水冷热屏升降 | 有 |
| 籽晶行程 | 8500mm |
| 籽晶升速 | 低速0-10mm/min 高速1000mm/min |
| 籽晶承重 | >1300KG |
| 籽晶转速 | 0-40 rpm |
| 籽晶绳材质 | 钨质 直径 6mm |
| 坩埚行程 | 550mm |
| 坩埚升速 | 低速0-0.5mm/min 高速200mm/min |
| 坩埚转速 | 0-20 rpm |
| 最大载重 | >1500KG |
| 籽晶晃动范围 | 籽晶转速<12rpm时 晃动<2mm |
| 炉体水平度 | 水平<0.06mm/m |
| 极限真空 | <3mT |
| 真空漏气率 | <0.5mT/Min |
| PLC | 三菱R系列PLC |
| PC | 高性能PC(触摸屏) |
| 自动/手动 | 全自动 |
| 显示精度 | 0.1KG |
| 控制范围 | 无 |